JSM-7600F超高分辨热场发射扫描电子显微镜

高分辨热场发射扫描电子显微镜JSM-7600F是日本电子株式会社2008年下半年推出的兼顾冷场的高分辨率和热场大束流为一体的热场发射扫描电镜，200nA的大电流在保证高分辨率的同时，得到高速样品分析结果，空间分辨率高，对导电性差的样品也有很多解决办法。

高分辨热场发射扫描电子显微镜JSM-7600F主要特点

1.主动式减震器

2.磁悬浮分子泵系统，无需UPS保护

3.标配的五轴马达驱动全对中样品台

4.全自动样品更换气锁

5.全自动样品监控系统

6.全自动物镜光阑

7.多通道显示系统

8.减速系统标准配置

9.能量过滤器标准配置

10.可以选配1.5nm高分辨LABE背散射电子探头

11.可以选配扫描投射探头（STEM）

高分辨热场发射扫描电子显微镜JSM-7600F技术参数

SEI 分辨率

1.5 nm（1 kV）（在GB 模式下），1.0 nm（15 kV）

放大倍数

25 到 1,000,000x

加速电压

0.1 到 30 kV

束流

1 pA 到 200 nA（15 kV时）

光阑角控制镜

内置

探测器

上方和下方探测器

能量过滤器

新型γ过滤器

柔和光束

内置

数字图像

1,280 x 960，2,560 x 1，920, 5,120 x 3,840

样品交换室

单步加载/卸载

样品台

全对中，5轴马达驱动

真空系统

2 SIPs，磁悬浮轴承 TMP、RP

节能设计

正常运行：1.2 kVA
休眠模式：1 kVA
操作系统关闭（OFF）：0.76 kVA