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S­-3400N日立扫描电子显微镜

S­-3400N日立扫描电子显微镜
  • 产品编号: S­-3400N
  • 产品型号: S­-3400N
  • 所属类别: 扫描电镜 蔡司/FEI/日立/电子 - 日立扫描电镜
  • 所属品牌: HITACHI
  • 所属用途: 表面形貌观察
  • 应用领域:
出品单位: 
日立扫描电子显微镜S­-3400N型
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日立扫描电子显微镜S­-3400N型具有新开发的电子光学系统,强大的自动化功能,操作更简易。

一、日立扫描电子显微镜S­-3400N型的特点

1. S-3400N具有强大的自动功能,包括自动灯丝饱和、4偏压、自动枪对中、自动束流设定、
   自动合轴自动聚焦和消像散、自动亮度对比度等。
2. 在3kV低加速电压时保证有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高灵敏半导体式背散射探头。
4. S-3400N II型具有五轴马达台,倾斜角度可达-20度~+90度,样品可达80mm。
5. 分析样品仓可以同时安装EDX , WDX 及EBSD。
6. 真空系统使用涡轮分子泵,洁净

二、日立扫描电子显微镜S­-3400N型的技术指标

 项目

 描述

 SE分辨率

 3.0nm (30kV),高真空模式 

 10nm (3kV), 高真空模式

 BSE分辨率

 4.0nm (30kV),低真空模式

 放大倍率

 x5 ~ x300,000

 加速电压

 0.3 ~ 30 kV

 低真空范围

 6 ~ 270 Pa

 最大样品尺寸

 直径200mm

 样品台

I型

II型

 X

0 ~ 80mm

0 ~ 100mm

 Y 

0 ~ 40mm

0 ~ 50mm

 Z

5 ~ 35mm

5 ~ 65mm

 R 

360º

360º

 T

-20º~ +90º

-20º ~ +90º

 最大样品高度

35mm (WD=10mm)

80mm (WD=10mm)

 驱动类型

手动

五轴马达驱动

 灯丝

预对中钨灯丝

 物镜光栏

可移动式4孔物镜光栏

 枪偏压

固定比例偏压、手动偏压和自动4偏

 检测器

二次电子检测器
高灵敏度半导体背散射电子检测器

 分析位置

WD=10mm, TOA=35o

 控制

鼠标、键盘,手动旋钮

 自动调校

自动灯丝饱和、自动4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴、自动聚焦消像散、自动亮度对比度 

 

友情链接:万能试验机

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