利用ICP作为激光光源的发射光谱仪比用传统激发光源的优势很多。因此，此仪器应用的范围更广。

Ppb量级水平的检测限。
无基体效应。
宽广的测量浓度范围。
高稳定性和重复性。拥有了这些和其他分析的优势，ICP光谱仪可广泛应用。它们的应用范围包括质量控制成分分析，超痕量成分确定，包括环境水质量监督以及主要成分确认，包括成分确定等。

为了很大限度的利用 ICP光谱仪以上的特征，需要以下几点：

此光谱仪可在一个宽的波长范围提供高分辨率。
盐酸/水溶剂样品和有机溶剂样品可以在未进行仪器组件的增加或变更时进行分析。
RF发生器、光谱仪、气体流动控制组件确保高稳定性。
低运营成本。
通过自动化可确保操作的简便性，数据系统可提供广泛系列的数据处理功能。
岛津ICPS-7510是新的顺序型ICP发射光光谱仪，可满足不同的检测需要。
已具备庞大的数据库和众多软件项目。