来自物镜外侧的环状照明光线不直接进入观察光学系统，而对样本斜向照射。观察从样本表面折射出的散射光线和衍射光线。使用这种观察法能观察到比光学显微镜的分辨极限更小的、8 nm级的伤痕和缺陷。