反射照明
在用来观察金属矿物切片及半导体薄片之类的“不透光样本”的光学显微镜上,采用了物镜照明的“反射照明光学系统”。普通的直立式反射型显微镜(图1),是在显微镜机体和镜筒之间插入反射照明单元构成照明系统。而这个反射照明光学系统的构造如图2所示:来自光源的光线通过聚光透镜在孔径光阑处形成光源像。而这个光源像作为2次光源,通过视场光圈、视场透镜之后,被位于光轴45度角位置的半透明镜反射,在物镜瞳孔处再一次形成光源像。这个光源像作为3次光源,物镜自身起到聚光镜的作用,对样本表面进行远心照明,构成凯勒照明系统。样本表面反射的光线再次通过物镜后,透射过半透明镜进入观察光学系统。