反射微分干涉观察
能够立体的观察样品上微小的高低不平的观察方法。使用安装在物镜上方的DIC棱镜，将照明光横向分离成两束光线照明样品。从样品直接反射出的两束光线的差生成明暗对比，从而能立体的观察样品表面上微小的高低不平。此外，利用灵敏色辉片，光程差会产生颜色变化，能够更好的观察微小的高低不平。
有微小的高低不平的样品
→晶圆研磨面、硬盘表面、磁头研磨面、金相组织等。