激光共聚焦显微镜以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统。它可以获得高达亚纳米级的空间分辨率（高度分辨率0.5nm；宽度分辨率1nm。），实现非接触式、高分辨率的材料表面检测，避免了传统方法中可能引起表面损伤和污染的问题；具有的三维显像功能，可以获得材料表面的三维形貌信息，能够准确地分析和量化表面的各项参数，为材料表面的粗糙度评价提供了更完整、细致的数据支持。