扫描电子显微镜(SEM)的工作原理
发表时间：2024-12-05 点击次数：370 关键词：材料科学 生物学 纳米技术
扫描电子显微镜(SEM)是一种高分辨率的分析工具，能够对样品表面进行详细观察和成分分析。与光学显微镜相比，SEM可以提供更高的放大倍率和更清晰的图像，因此广泛应用于材料科学、生物学、纳米技术等多个领域。
ZEM15台式扫描电子显微镜扫描速度快，信号采集带宽10M，可以在视频模式下流畅实时的显示样品。只需鼠标就可完成所有操作，不需对中光阑等复杂步骤，聚焦消像散后可直接拍图。主机集成高压及控制系统，体积小巧，便于移动，可出差携带，安装无需特殊环境，只需找一张桌子，供电就可工作。
工作原理：
1.电子束发射：SEM使用电子枪(通常是热发射或场发射电子枪)产生细束电子，这些电子会被加速并聚焦到样品表面。
2.激发信号：当电子束撞击样品时，将导致样品表面的原子释放出不同类型的信号，包括二次电子、反向散射电子和特征X射线。
二次电子：来自样品表面的低能量电子，主要用于获取表面形貌信息。
反向散射电子：返回的高能量电子，提供关于样品组成的信息。
X射线：由样品原子在受到轰击后发出的特征X射线，用于元素分析。
3.信号检测：收集这些信号通过探测器进行处理，并将其转换为图像或其他数据。
扫描电子显微镜是一项强大的科研工具，能够揭示样品的微观世界。正确的操作与维护能够确保获得高质量的数据，促进各个领域的研究和开发。
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