氦离子显微镜ORION的基础是原子尺寸的、ALIS气体场离子源。由单个原子发出的，明亮的氦离子束客服了衍射和能量扩展的限制，正是衍射和能量的扩展影响了电子束在扫描电镜中的应用。

这就意味这ORION显微镜拥有一个非常小的束斑用于高分辨率成像。此外，在一个大大缩小了相互作用区里，独特的氦离子束和样品的动力学结果贡献了更高的分辨率和内涵丰富的衬度机制。

ORION显微镜也可以使用背散射氦离子成像，具有很强元素衬度的这种技术，提供了在样品表面区分不同材料的能力。

ORION显微镜灵活性高、功能多样，能够提供广泛的分析信息，其中包括：形貌、材料、电压衬度、晶体学、表面和次表面信息，这种技术的另一个好处是在绝缘样品上的性能。

一、氦离子显微镜ORION技术参数

1、分辨率：0.75nm  45kv工作距离4mm

1.0nm     30kv工作距离4mm

2.5nm    10kv工作距离4mm

2、放大倍数：100x-1，000，000x

3、视野：1mm-100nm

4、离子束：1PA时〈1nm

离子束电流1 fA-25pA

5、离子源：氦气体场离子源

寿命〉1000小时

离子源电动对中

6、样品室：体积400mm3

基体真空度2*10-7Torr

接口板可定制

载物锁

7、图像探测器：Evehart-Thornley二次电子探测器

微通道板（选配）

透射电子探测器（选配）

8、样品台：5轴电动样品台，X 、Y轴行程50mm，

Z轴行程12mm，360℃旋转，

0℃到45℃倾斜

9、真空系统：无油无微粒低真空泵设计

磁悬浮涡轮分子泵

10、摄像机：三台监控摄像机一离子源观察

11、样品台观察、样品室观察

12、用户界面：两台20英寸平板显示器

图像2048*2048像素

系统主要参数存档功能

二、氦离子显微镜ORION主要特点

1.       材料衬度

2.      分辨率

3.       广泛的分析信息

4.       简单的样品制备

5.       离子源工作稳定、长寿命