蔡司扫描电子显微镜EVO MA 15用于材料领域,LS 15用于生命科学领域。该系列电镜采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高低真空成像功能，可对各种材料表面作分析，并且具有X射线分析技术。革命性的Beamsleeve的设计，确保在低电压条件下提供高分辨率的锐利图像，同时还可以进行准确的能谱分析。样品台为五轴全自动控制。标准的效率高无油涡轮分子泵能够满足快速的样品更换和没有污染(免维护)成像分析。

一、蔡司扫描电子显微镜EVO MA 15/LS 15用途

扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。

二、扫描电子显微镜（蔡司）EVO MA 15/LS 15技术参数

1、分辨率：2.0nm@30KV(SE with Lab6 option)  3.0nm@30KV(SE and W)  4.5nm@30KV(VP with BSD)

2、加速电压：0.2—30KV

3、放大倍数：5—1000000x

4、视野范围：6mm

5、X-射线参数：8.5mm WD，35度接收角

6、压力范围：10—400Pa (LS15:10-3000Pa)

7、工作室：365mm(φ)×275mm(h)

8、5轴优自动样品台：X=125mm  Y=125mm  Z=50mm  T=0-90°R=360°

9、试样高度：145mm，试样直径：250mm

10、系统控制：基于Windows XP 的SmartSEM

三、电子显微镜（蔡司）主要特点

1、能在可变压力下操作

2、X射线和EBSD分析

3、快速抽真空

4、未来的保证，可升级在高压和水蒸气下成像和分析

5、高亮度LaB6资源选择

6、光线套选择

7、可移动大平台

四、扫描电子显微镜（蔡司）技术特点

1、通过网络可远程控制

2、在z轴上可机动化的移动50毫米并且在X和y轴上可移动125毫米

3、样本高度增加到145毫米

4、改进了低真空图像

5、X-射线分析技术