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扫描电镜 蔡司/FEI/日立/电子
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日立扫描电镜
VEGA 3 XMH电子显微镜(钨灯丝扫描电镜)
产品编号: VEGA 3 XMH
产品型号: VEGA 3 XMH
所属类别: 扫描电镜 蔡司/FEI/日立/电子 - 日立扫描电镜
所属品牌: BAHENS
所属用途: 表面形貌观察
应用领域:
出品单位:
电子显微镜|上海电子显微镜|日本电子显微镜价格
VEGA 3 XMH
分辨率
高真空模式(二次电子)
低真空(背散射电子)
3.0nm(30kV),8.0nm(3kV)
-
工作真空
高真空模式
低真空模式
<9×10
-3
Pa
-
电子光学工作模式
分辨率/景深/视野/大视野/摇摆电子束
放大倍率
3x-1,000,000x
加速电压
200V至30KV
电子枪
钨灯丝
探针电流
1pA至2μA
扫描速度
从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整
聚焦窗口
形状、尺寸和位置连续可调
扫描特性
动态聚焦,点和线扫描,倾斜校正,3D Beam
图象尺寸
可达8192×8192象素,可单独调整为动态图象(4种)和存档的图象(10种),图象比例可选1:1、4:3或2:1
显微镜控制
通过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作VEGA TC软件,所以显微镜的功能均可在Windows
TM
平台下实现
自动程序
真空控制,灯丝加热,电子枪合轴,扫描模式对中,加速电压改变的补偿,束斑大小和探针电流,放大倍率和束斑大小,扫描速度,亮度和对比度,聚焦和消像散,灰阶观察表格.
远程控制
通过TCP/IP
样品室
内部尺寸
300mm宽×330mm深
门宽
280mm宽×310mm深
接口数量
11+
样品室减震方式
气垫(可选配内置主动式气垫减震)
样品载台
类型
全电脑化优
移动范围
X=130mm —— 马达驱动
Y=130mm ——马达驱动
Z=100mm —— 马达驱动
旋转:360°连续可调——马达驱动
倾斜:-20°到+90°——马达驱动
样品高度
143mm
软件
测量软件
图象操作
图象处理
3D扫描
硬度
多图校正
目标面积
打印放大倍率
关机定时器
公差
形态
颗粒度分析
自动抓图
图象观测
电子束写入
鼠标连接
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