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VEGA 3 XMH电子显微镜(钨灯丝扫描电镜)

VEGA 3 XMH电子显微镜(钨灯丝扫描电镜)
  • 产品编号: VEGA 3 XMH
  • 产品型号: VEGA 3 XMH
  • 所属类别: 扫描电镜 蔡司/FEI/日立/电子 - 日立扫描电镜
  • 所属品牌: BAHENS
  • 所属用途: 表面形貌观察
  • 应用领域:
出品单位: 
电子显微镜|上海电子显微镜|日本电子显微镜价格
VEGA 3 XMH
 分辨率
 高真空模式(二次电子)
 低真空(背散射电子)
 
3.0nm(30kV),8.0nm(3kV)
-
 工作真空
 高真空模式
 低真空模式

<9×10-3Pa
-
 电子光学工作模式 分辨率/景深/视野/大视野/摇摆电子束
 放大倍率 3x-1,000,000x
 加速电压 200V至30KV
 电子枪 钨灯丝
 探针电流 1pA至2μA
 扫描速度 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整
 聚焦窗口 形状、尺寸和位置连续可调
 扫描特性 动态聚焦,点和线扫描,倾斜校正,3D Beam
 图象尺寸 可达8192×8192象素,可单独调整为动态图象(4种)和存档的图象(10种),图象比例可选1:1、4:3或2:1
 显微镜控制 通过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作VEGA TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现
 自动程序 真空控制,灯丝加热,电子枪合轴,扫描模式对中,加速电压改变的补偿,束斑大小和探针电流,放大倍率和束斑大小,扫描速度,亮度和对比度,聚焦和消像散,灰阶观察表格.
 远程控制 通过TCP/IP
 样品室
 内部尺寸 300mm宽×330mm深
 门宽 280mm宽×310mm深
 接口数量 11+
 样品室减震方式 气垫(可选配内置主动式气垫减震)
 样品载台
 类型 全电脑化优
 

 移动范围
X=130mm —— 马达驱动
Y=130mm ——马达驱动
Z=100mm —— 马达驱动
旋转:360°连续可调——马达驱动
倾斜:-20°到+90°——马达驱动
 样品高度 143mm
软件
 测量软件
 图象操作
 图象处理
 3D扫描
 硬度
 多图校正
 目标面积
 打印放大倍率
 关机定时器
 公差
 
 形态
 颗粒度分析
 自动抓图
 图象观测
 电子束写入
 鼠标连接
 
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