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扫描电镜 蔡司/FEI/日立/电子
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日立扫描电镜
MIRA 3 XMH场发射扫描电镜
产品编号: MIRA 3 XMH
产品型号: MIRA 3 XMH
所属类别: 扫描电镜 蔡司/FEI/日立/电子 - 日立扫描电镜
所属品牌: BAHENS
所属用途: 表面形貌观察
应用领域:
出品单位:
无锡东立智能技术有限公司代理MIRA 3 XMH高分辨率肖特基场发射扫
MIRA 3 XMH高分辨率肖特基场发射扫描电镜
分辨率
高真空(二次电子)
低真空(背散射电子)
1.0nm (30kV),1.2nm (15kV),2.0nm(3kV),3.5nm(1kV)
-
工作真空
高真空模式
低真空模式
枪体真空
<9×10
-3
Pa
-
<3×10
-7
Pa
电子光学工作模式
分辨率/景深/视野/大视野/摇摆电子束
放大倍率
3×-1,000,000×连续可调
加速电压
200V至30kV
电子枪
高亮度肖特基发射源
探针电流
2pA至100nA
扫描速度
从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续可调
聚焦窗口
大小和位置连续可调
扫描特性
动态聚集、点和线扫描、倾斜校正、3D Beam
图象尺寸
可达8192×8192像素,可单独调整为动态图像(4种)和存档的图像(10种),图像比例可选1:1、4:3或2:1
显微镜控制
能过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作Mira TC软件,所以显微镜的功能均可在Windows
TM
平台下实现。
自动程序
实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing
TM
)技术可持续调节探针电流和束斑直径,真空控制,电子枪合轴,扫描模式对中,加速电压改变的补偿,束斑大小和探针电流,放大倍率和束斑大小,扫描速度,高度和对比度,聚焦和消像散, 灰阶观察表格
远程控制
TCP/IP
样品室
内部尺寸
300mm宽 × 330mm深
门宽
280mm宽 × 310mm高
接口数量
11+
样品室减震方式
气垫减震或选配内置主动式减震
样品载台
类型
全电脑化优
移动范围
全马达驱动控制方式:
X=130mm--马达控制
Y=130mm--马达控制
Z=100mm--马达控制
旋转:360°连续可调--马达控制
倾斜:-20°到+90°--马达控制
样品高度
143mm
软件
测量软件
图象操作
图象处理
3纬扫描
硬度
多图校正
目标面积
打印放大倍率
关机定时器
公差
形态学
颗粒度分析
自动抓图
图象观测
电子束写入
鼠标连接
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●标配 ○选配