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MIRA 3 XMH场发射扫描电镜

MIRA 3 XMH场发射扫描电镜
  • 产品编号: MIRA 3 XMH
  • 产品型号: MIRA 3 XMH
  • 所属类别: 扫描电镜 蔡司/FEI/日立/电子 - 日立扫描电镜
  • 所属品牌: BAHENS
  • 所属用途: 表面形貌观察
  • 应用领域:
出品单位: 
无锡东立智能技术有限公司代理MIRA 3 XMH高分辨率肖特基场发射扫
MIRA 3 XMH高分辨率肖特基场发射扫描电镜
 分辨率
 高真空(二次电子)
 低真空(背散射电子)
 
1.0nm (30kV),1.2nm (15kV),2.0nm(3kV),3.5nm(1kV)
 -

 工作真空

 高真空模式
 低真空模式
 枪体真空

 
<9×10-3Pa
 -
<3×10-7Pa
 电子光学工作模式 分辨率/景深/视野/大视野/摇摆电子束
 放大倍率 3×-1,000,000×连续可调
 加速电压 200V至30kV
 电子枪 高亮度肖特基发射源
 探针电流 2pA至100nA
 扫描速度 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续可调
 聚焦窗口 大小和位置连续可调
 扫描特性 动态聚集、点和线扫描、倾斜校正、3D Beam
 图象尺寸 可达8192×8192像素,可单独调整为动态图像(4种)和存档的图像(10种),图像比例可选1:1、4:3或2:1
 显微镜控制 能过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作Mira TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现。
 自动程序 实时电子束追踪(In-Flight Beam TracingTM)技术可持续调节探针电流和束斑直径,真空控制,电子枪合轴,扫描模式对中,加速电压改变的补偿,束斑大小和探针电流,放大倍率和束斑大小,扫描速度,高度和对比度,聚焦和消像散, 灰阶观察表格
 远程控制 TCP/IP
  样品室
 内部尺寸 300mm宽 × 330mm深
 门宽 280mm宽 × 310mm高
 接口数量 11+
 样品室减震方式 气垫减震或选配内置主动式减震
 样品载台
 类型 全电脑化优
 
 移动范围
全马达驱动控制方式:
X=130mm--马达控制
Y=130mm--马达控制
Z=100mm--马达控制
旋转:360°连续可调--马达控制
倾斜:-20°到+90°--马达控制
 样品高度 143mm
 软件
 测量软件
 图象操作
 图象处理
 3纬扫描
 硬度
 多图校正
 目标面积
 打印放大倍率
 关机定时器
 公差
 
 形态学
 颗粒度分析
 自动抓图
 图象观测
 电子束写入
 鼠标连接

 

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