日立热场发射扫描电镜SU70型采用成熟的高分辨率半内透镜技术和热场发射电子枪，为探索纳米世界打开了一扇新的大门。为了满足在同一台仪器上进行综合分析(需要大探针电流)和分辨率观察的需求，日立开发了SU-70。

一、日立热场发射扫描电镜SU70型的特点

1.100nA的大探针电流

   新开发的肖特基电子枪保证100nA的大探针电流

2. 通用的分析型样品室

   预留了多种接口，可以安装以下附件进行

   分析：EDX,WDX,EBSP,STEM,BSE, CL,超低

   温台，样品室CCD

3. 分析模式(FF模式)

   观察磁性样品及EBSP、WDS分析

4. 分辨率 1.0nm/15kV，1.6nm/1kV(减速模式)，分辨率的获得利用了日立

   已被检验的半内透镜技术。

5. ExB技术用于控制SE/BSE信号检测，实现消除放电现象及信号混合

6. 电子束减速技术保证了超低电压的高分辨成像，用于浅表面观察

二、日立热场发射扫描电镜SU70型的技术规格

二次电子图象分辨率

1.0nm(15KV.WD=4.0mm)

1.6nm(1KV.WD=1.5mm,减速模式)

2.5nm(1KV.WD=1.5mm)

放大倍数

低放大倍数模式20-2,000x

高放大倍数模式100-800,000x

电子光学

电子枪    ZrO/W 肖特基电子枪

电流      1pA-100nA

加速电压  0.5-30KV(标准模式)

着陆电压  0.1-2.0KV(减速模式)

透镜系统  3级电磁线圈系统

物镜光阑  4孔光阑,真空外选择和细调

样品台

样品台控制  5轴马达控制

移动范围

 X     0-110mm

 Y     0-110mm

 z     1.5-40mm

 T     -5O-+700

 R     360O 

 样品尺寸  直径150mm(标准)

 (最大)    直径200mm(可选)

探测器

二次电子探测器

背散射电子探测器(可选)

STEM探测器(可选)

法拉第杯(可选)

X射线能谱仪(可选)

X射线波谱仪(可选)

EBSP探测器(可选)

阴极荧光探测器(可选)