江南仪器为您提供奥林巴斯激光共聚焦显微镜LEXT OLS4100的方案介绍：

奥林巴斯激光共聚焦显微镜LEXT OLS4100是一款激光扫描显微镜，通过非接触的方式进行样品表面三维形貌观察和测量。分辨率达10nm，可以方便快捷地获取影像，同时配备丰富的测量功能。

采用了有着高N.A. 的专用物镜和专用光学系统（能很大限度发挥405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以准确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。这有利于粗糙度的测量。

由于采用405 nm 的短波长激光和更高数值孔径的物镜，OLS4100 达到了0.12 μm 的平面分辨率。因此，可以对样品的表面进行亚微米的测量。结合高精度的0.8 nm 的光栅读取能力和软件算法，例如奥林巴斯开创的I-Z 曲线（请参阅第23 页），OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。

OLS4100 采用了双共焦系统，结合高灵敏度的探测器，那些具有不同反射率材料的样品，也能在OLS4100 上获得鲜明的影像。

适用于透明层

多层模式 

LEXT OLS4100 多层模式则可以识别多层样品各层上反射光强度的峰值区域，并将各层设为焦点，这样即可实现对透明样品上表面的观察和测量，而且也可以对多层样品的各层进行分析和厚度测量。 

观察／测量透明材料的各个层 

多层模式可实现对透明样品的顶部的透明层进行观察和测量。即使在玻璃基片上覆有一层透明树脂层，也可测量出各层的形状和粗糙度以及表面覆膜的厚度。

 

LEXT 专用物镜

奥林巴斯激光共聚焦显微镜LEXT OLS4100技术规格：