BAHENS仪器为您提供奥林巴斯工业检查显微镜MX51   的方案介绍：

奥林巴斯工业检查显微镜MX51显微镜，适用于各种电子元件、晶圆和大型样本的观察需求。显微镜能够检查多种器件和晶圆（尺寸不超过150mm）。调焦机构和照明强度控制装置相互紧挨，可使用同一只手操作。符合SEMI S2/S8，增强了可靠性。电动物镜转换器示意图 电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换，可以操作按钮瞬时间完成，提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外，UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机，在切换倍率时也不会由视场附近偏离。

MX51主要操作部件集中在前面，操作人员易于操作，即使长时间操作也不会感到疲劳。专用150mm载物台内置离合器，可实现轻松移动。

MX51系列显微镜——易于操作

检测速度更快，确保生产更有效和生产能力更高

奥林巴斯提供了150mm和100mm两种规格的载物台。150mm载物台带有内嵌离合杆，可以快速地粗调/微调载物台，以对准载物台上的样品，调节时操作人员的双眼无需离开目镜，减少了工作疲劳。

物镜转盘带有编码，可在屏幕上提供物镜信息

MX5 1显微镜的物镜转换器带有编码，物镜倍率可在奥林巴斯的Stream软件系统上显示，或是若使用单独显示型摄像头配置，也可在屏幕上直接显示。这样，您可以在观测过程中监测及连同图像一起记录放大倍率。这一便捷的功能是由手动编码的物镜转盘实现的。

使用电动物镜转盘，可直接切换物镜

MX51可搭载多种电动物镜转盘。使用外部手持控制器，可以直接选择所需的物镜，或是也可使用奥林巴斯的Stream软件，控制物镜选择。MX51还带有一个能够对中的电动物镜转盘，以实现高精度定位（建议高倍率时使用）。

UIS2光学系统，提供准确的缺陷检测性能

整个MX系列显微镜都可提供更明亮的明视场和暗视场观察，并提高了检测灵敏度，因此，缺陷检测速度更快，并可确保检测失误更少。MX系列显微镜在观测小直径晶圆时，能够实现更高的精度。这些小型晶圆被广泛用于当前越来越小巧的传感器和高性能电子设备上。

透射光观察

透射光照明装置与150mm的载物台一起使用时，可在透射光明场观察模式下检查很厚2mm的试样，透射照明的范围为100mmx100mm。整个照明装置外形纤巧，对载物台操作的影响很小，在检测MEMS（微电子机械系统）传感器和其他光学/光电器件时非常有用。

奥林巴斯工业检查显微镜MX51技术规格：

工业检测显微镜 MX51 规格
光学系统			UIS2光学系统（无限远校正）
机身	观察方法		明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
	反射/透射		反射/透射
	照明装置		明暗视场反射照明管（明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光）
			通用反射照明管（明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光）
	照明系统	反射照明	100 W卤素/100 W水银/75 W氙
		透射照明	纤维光导
	对焦单元	电动/手动	手动
		行程	32 mm
		分辨率/微调灵敏度	微调旋钮转动1周移动0.1 mm
		很大样本高度	30 mm
	物镜转换器	电动型	明视场微分干涉6孔
			明暗视场微分干涉5孔
			明暗视场微分干涉输出5孔
			明暗视场微分干涉6孔
		手动式	明视场5孔
			明视场微分干涉6孔
			明视场微分干涉输出6孔
			明视场微分干涉7孔
			明暗视场5孔
			明暗视场微分干涉5孔
			明暗视场微分干涉输出5孔
			明暗视场微分干涉6孔
载物台	行程		6×6英寸右下手柄：  158（X）×158（Y）mm　（透射照明范围100×100 mm）
			4×4英寸右下（左下）手柄：  100（X）×105（Y）mm　（透射照明范围96×96 mm）
观察筒	广角视场（视场数22）	倒置	双目/三目观察筒
		正像	三目观察筒
	超宽视场（视场数26.5）	倒置	三目观察筒
		正像	倾斜三目观察筒
附件单元			IR单元/自动装载
外形尺寸			430（W）×591（D）×495（H）mm（标准组合）
重量			26 kg（标准组合）