1.数值孔径：表示物镜收集光一的能力。物镜对试样上的各点的反射光收集得越多，成像质量越好。数值孔径常用N.A.来表示。
2.分辨率：指能清晰地分辨试样上两点间的很小距离。分辨率决定了显微镜分辨试样上细节的程度。显微镜的物镜使物体放大成一实像，目镜的作用是使这个实像再次放大，这就是说目镜只能放大物镜已分辨的细节，物镜未能分辨的细节，决不会通过目镜放大而变得可分辨。因此显微镜的分辨率取决于物镜的分辨率。
3.焦深（景深）：是物镜对高低不平的物体能够成像的能力。当显微镜准确聚焦于某一物面时，如果位于其前面及后面的物面仍然能被观察者看清楚，则该很远两平面间的距离就是焦深。物镜的焦深主要取决于物镜的数值孔径。
4.工作距离：是指显微镜准确聚焦后，试样表面与物镜的前端之间的距离。
5.视场范围：是指显微镜所观察到的试样表面区域的大小。